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产品名称

研磨抛光液

S-M802使用球形纳米颗粒，可加速切除和优化抛光质量

可实现超精密无损伤表面加工，满足集成电路特征尺寸在0.35μm以下的全局平坦化要求。
产品型号
S-M802
产品分类
表面处理剂
适用制程
晶片形成的一道工序是化学机械抛光 ，Ｓ-M802作用：是为了后面的光刻工艺，为其提供具有高度平坦化、高度洁净表面的晶片。
应用说明
本抛光液既适用于震动（研磨）光饰机、滚动(研磨)光饰机和涡流式(研磨)光饰机,同时也可在离心(研磨)光饰机等其它(研磨)光饰机中使用。
包装规格
20kg/桶
数量
-
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