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研磨抛光液
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产品名称

研磨抛光液

S-M802使用球形纳米颗粒,可加速切除和优化抛光质量

可实现超精密无损伤表面加工,满足集成电路特征尺寸在0.35μm以下的全局平坦化要求。
产品型号
S-M802
产品分类
适用制程
晶片形成的最后一道工序是化学机械抛光 ,S-M802作用:是为了后面的光刻工艺,为其提供具有高度平坦化、高度洁净表面的晶片。
应用说明
本抛光液既适用于震动(研磨)光饰机、滚动(研磨)光饰机和涡流式(研磨)光饰机,同时也可在离心(研磨)光饰机等其它(研磨)光饰机中使用。
包装规格
20kg/桶
数量
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